Dectak 6M 台阶仪

   

用途和特点

      台阶仪的工作原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动,触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响,呈现所测量的表面轮廓信息。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。  

 

主要技术参数

 

 

1、探针压力：                程控1～15mg          

2、探针半径：                0.2～25µm                        

3、垂直测量范围：            262µm可选1mm          

4、最高垂直分辨率：          1Å            

5、水平扫描范围：            50um～3cm          

6、水平扫描时间：           3～200s          

7、最大样品厚度：            31.75mm

8、样品台尺寸：              6英寸，可测150mm以下样品

 

主要组成部分

 

1、减震系统台阶仪是测量微小厚度的仪器，为防止轻微震动对测量结果的影响，仪器配有专业的减震系统，可以防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加精确

2、测量系统采用最新一代的HAR针尖，可获得此前型号探针式轮廓仪无法实现的高深宽比测量，同时配备低惯性传感器，保证其卓越精度。  

3、成像系统   配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。，可以将探针的得到的形貌图像传输到控制电脑上，使测量更加直观  

4、软件系统搭配有专业的测量软件，方便实用，可以直观的读出  

样品的厚度，同时还能对数据进行简单的处理，方便直观的观察，可以操控测量系统，对样品进行测量  

5、工件台可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整